Ứng dụng cảm biến đo áp suất MEMS

[lminhv]

Khảo sát cảm biến áp suất chế tạo theo công nghệ MEMS, trên cơ sở đó thực hiện một bài toán sử dụng cảm biến áp suất: Bài toán cảnh báo áp suất.

Nội dung:

- Buồng tạo áp suất
- Bơm khí
- Van xả
- Áp kế thuỷ ngân
- Các cảm biến
- Mạch điều khiển

link:
http://www.mediafire.com/?5miymygwmnx